光刻的工艺流程 光刻机唯一上市公司苏大维格

光刻的准备工作

光刻，听起来像是在实验室里搞魔法，其实它更像是在硅片上画画。首先，你得有一块干净的硅片，这就像是一张白纸，等着你来涂鸦。然后，我们会在硅片上涂上一层薄薄的“光敏胶”，这东西对光特别敏感，就像你的眼睛对阳光一样。涂完胶后，硅片还得在烤箱里“烤一烤”，这可不是为了好吃，而是为了让胶变得更坚固。

光刻的关键步骤

接下来就是光刻的重头戏了——曝光。我们把设计好的图案放在硅片上，然后用紫外线灯一照，哇！图案就“印”在硅片上了。这就像是你用投影仪把电影投到墙上一样。曝光后，硅片还得去“显影”一下，就是把那些没被光照到的胶洗掉，留下的就是我们要的图案了。这个过程有点像你在海边玩沙子，用湿沙子堆城堡，然后用干沙子填满空隙。

光刻的收尾工作

最后一步是刻蚀和剥离。我们用化学药品把那些没有被胶保护的地方“吃掉”，这就像是你在吃披萨时只挑自己喜欢的部分吃一样。吃完后，再把剩下的胶剥掉，这样硅片上就只剩下我们想要的图案了。这个过程有点像是你做完手工后清理桌面上的胶水和碎纸屑。